真空熱處理爐由爐體、加熱室、真空系統(tǒng)、充放氣系統(tǒng)、風(fēng)冷循環(huán)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動(dòng)系統(tǒng)，水冷系統(tǒng)及料車組成。

工作時(shí)將裝配好的工件通過(guò)料車將工件送入爐膛，然后關(guān)閉爐門(mén)，自動(dòng)鎖緊，通過(guò)預(yù)設(shè)程序控制抽真空、加熱、冷卻等整個(gè)熱處理過(guò)程。

7.1 
爐體：

7.1.1爐體采用臥式雙層圓筒水冷壁結(jié)構(gòu)，爐體上設(shè)置測(cè)溫接口、真空接口、充放氣接口、電極接口、風(fēng)冷接口等，通過(guò)各不同規(guī)格的真空接管及法蘭與真空系統(tǒng)、充放氣系統(tǒng)、水冷電極等連接。爐體內(nèi)安裝加熱室，測(cè)溫?zé)崤嫉取?span>

7.1.2爐門(mén)為雙層水冷壁結(jié)構(gòu)，爐門(mén)的開(kāi)啟采用手動(dòng)推拉方式。爐門(mén)上設(shè)觀察窗，可實(shí)時(shí)觀察爐內(nèi)加熱狀況。

7.1.3爐體與爐門(mén)之間采用梯形槽密封結(jié)構(gòu)，密封圈容易更換，可保證真空爐的密封性能。

7.2 加熱室

7.2.1加熱室整體為圓筒型結(jié)構(gòu)，框架為不銹鋼材質(zhì)。底部設(shè)有兩組滑輪，用于進(jìn)出爐體，使?fàn)t膽便于維護(hù)和更換。

7.2.2保溫層采用內(nèi)層高溫鉬片結(jié)構(gòu)，提高保溫效果，同時(shí)也能減小高壓冷卻氣體對(duì)加熱室的損壞，延長(zhǎng)加熱室的使用壽命。

7.2.3加熱元件采用高溫鉬材質(zhì)加熱元件，圓周分布，此布置使加熱室具有溫升速度快，溫度均勻性好，并且加熱元件使用壽命長(zhǎng)。

7.2.4 絕緣件采用特殊設(shè)計(jì)的95陶瓷材質(zhì)。

7.2.5 引入電極為專門(mén)設(shè)計(jì)的紫銅水冷電極。

7.2.6 配有高溫鉬料盤(pán)。

7.3 
真空系統(tǒng)：

7.3.1 真空機(jī)組為國(guó)產(chǎn)旋片泵(2X-30)-羅茨泵（ZJP300）。

7.3.2 配有高真空擋板閥門(mén)、波紋管、電磁放氣閥、管路等。

7.3.3真空閥門(mén)均采用氣動(dòng)高真空擋板閥。該閥門(mén)的開(kāi)啟與閉合均由PLC控制，且聯(lián)動(dòng)互鎖，斷電時(shí)閥門(mén)自動(dòng)關(guān)閉以保證爐內(nèi)真空度，避免工件氧化。

7.3.4真空測(cè)量采用數(shù)顯真空計(jì)及配套規(guī)管，該真空計(jì)可以實(shí)現(xiàn)測(cè)量過(guò)程中的量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換和超程保護(hù)，并具有數(shù)據(jù)輸出、故障報(bào)警等多種功能。

7.4 
充放氣系統(tǒng)：

7.4.1包括各個(gè)充氣閥門(mén)（自動(dòng)、手動(dòng)）、管路附件等，并且充氣壓力可調(diào)，可實(shí)現(xiàn)快充及分壓調(diào)節(jié)。
7. 4.2在加熱過(guò)程中可以用此裝置對(duì)爐內(nèi)真空度進(jìn)行調(diào)節(jié)和控制，將真空度調(diào)節(jié)在設(shè)定范圍內(nèi)，以滿足特殊材料工藝需要，防止因爐內(nèi)真空度過(guò)高而造成某些低蒸汽壓元素的揮發(fā)。

7.4.3需要強(qiáng)制快速冷卻時(shí)打開(kāi)自動(dòng)閥門(mén)，即可向爐內(nèi)充入冷卻氣體。并且可實(shí)現(xiàn)緩沖功能。

7.5 
風(fēng)冷循環(huán)系統(tǒng)：

7.5.1為鼓風(fēng)機(jī)裝置配以高效翅片紫銅管及高真空閥門(mén)、管路組成的熱交換器形成內(nèi)循環(huán)冷卻系統(tǒng)。其中翅片紫銅管為整體型擠壓結(jié)構(gòu)，其換熱效果更佳。

7.5.2氣冷壓力根據(jù)工藝需要在允許范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，當(dāng)爐內(nèi)壓力達(dá)到氣冷壓力的某一設(shè)定值時(shí)充氣閥門(mén)將自動(dòng)關(guān)閉，系統(tǒng)配備壓力裝置用以對(duì)氣冷壓力進(jìn)行設(shè)定。在抽空和爐室升溫時(shí)充氣閥門(mén)無(wú)法打開(kāi)。

7.5.3其結(jié)構(gòu)具有氣流風(fēng)速大，氣流面積大等特點(diǎn)，提高工件的冷卻效果，縮短工件出爐時(shí)間，且鼓風(fēng)機(jī)具有耐溫耐壓功能。

7.6 電控系統(tǒng)：

7.6.1主要功能

電控系統(tǒng)由可編程控制器PLC、溫控儀、觸摸屏、晶閘管調(diào)壓器、真空計(jì)、電壓電流表、直流穩(wěn)壓電源、空開(kāi)、接觸器、繼電器、按鈕、指示燈等組成，以實(shí)現(xiàn)供電、控制、記錄、監(jiān)視、報(bào)警保護(hù)功能。

系統(tǒng)以PLC為運(yùn)算控制核心，對(duì)設(shè)備的實(shí)時(shí)狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)測(cè)，操作人員通過(guò)觸摸屏的輸入以及當(dāng)前狀態(tài)的判斷來(lái)產(chǎn)生輸出控制，直接控制由大量的繼電器執(zhí)行，通過(guò)系統(tǒng)配備完善的安全保護(hù)功能，當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)異常狀況如水壓、溫度、真空、充氣壓力等出現(xiàn)異常，系統(tǒng)會(huì)發(fā)出報(bào)警。設(shè)備在使用過(guò)程中有完善可靠的自鎖互鎖保護(hù)功能，保證設(shè)備不會(huì)因操作人員誤操作而發(fā)生事故，具體設(shè)定要求有：

（a）對(duì)于溫度控制、冷卻水、工藝過(guò)程等均配有可靠的安全及報(bào)警裝置。

（b）如電源突然非正常斷電，系統(tǒng)應(yīng)保證水循環(huán)繼續(xù)以小流量進(jìn)行。

（c）如電源突然非正常斷電，系統(tǒng)應(yīng)自動(dòng)關(guān)閉真空閥等以保護(hù)爐腔環(huán)境。

（d）當(dāng)爐溫達(dá)到超溫控制點(diǎn)時(shí)系統(tǒng)自動(dòng)切斷爐子電源并報(bào)警。

（e）爐體加熱過(guò)程中真空度不足時(shí)爐子自動(dòng)報(bào)警。

（f）爐內(nèi)氣壓超過(guò)設(shè)定值時(shí)，系統(tǒng)能夠自動(dòng)卸壓保護(hù)。

（h）羅茨泵設(shè)起動(dòng)壓強(qiáng)聯(lián)鎖。

（i）各真空閥門(mén)系統(tǒng)等設(shè)相關(guān)安全聯(lián)鎖。

（j）設(shè)總電源缺相的報(bào)警與安全聯(lián)鎖。

（k）設(shè)總進(jìn)水缺水的報(bào)警與安全聯(lián)鎖。

7.6.2具體配置

（a）低壓電器元件選用法國(guó)施耐德產(chǎn)品，性能可靠，使用壽命長(zhǎng)。

（b）控制系統(tǒng)采用德國(guó)西門(mén)子可編程控制器。可編程序控制器(PLC)具有工作可靠、操作、維護(hù)簡(jiǎn)單、擴(kuò)展性強(qiáng)、集成度高等優(yōu)點(diǎn)，本系統(tǒng)采用了可編程序控制器可以使電氣系統(tǒng)的可靠性、過(guò)程自動(dòng)化、設(shè)備集成化程度提高，減少了控制線路的連線，簡(jiǎn)化了電氣原理圖，使設(shè)備的調(diào)試、檢修、維護(hù)變得更加簡(jiǎn)單方便，并且通過(guò)預(yù)先編制的程序，能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)備工作過(guò)程中的手動(dòng)、自動(dòng)控制的切換，提高了設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中的安全性、可靠性。

（c）配有德國(guó)西門(mén)子觸摸屏，采用高靈敏度液晶觸摸屏，使用壽命長(zhǎng)，安全可靠。觸摸屏能實(shí)時(shí)顯示設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)并進(jìn)行控制，人性化界面設(shè)計(jì)，直觀簡(jiǎn)潔，方便操作。

（d）溫控儀表為日本山武DCP型號(hào)儀表。山武溫控儀儀表精度等級(jí)0.1級(jí)，控溫精度±1℃，帶有數(shù)字顯示及升溫PID控制及PID參數(shù)自動(dòng)整定等功能，能同時(shí)設(shè)定存儲(chǔ)多條工藝曲線，溫控儀表對(duì)加熱室的溫區(qū)進(jìn)行控溫，并保證了在加溫、保溫過(guò)程中爐室內(nèi)溫度的均勻性，提高了產(chǎn)品的加工質(zhì)量。

（e）配有浙大中控無(wú)紙記錄儀，能同時(shí)記錄爐膛溫度、真空度等。操作方便、記錄曲線清晰、鮮明、可靠性高、維護(hù)方便等特點(diǎn)，并且配置USB接口可用于數(shù)據(jù)的備份及轉(zhuǎn)存。

（f）熱電偶為東北大學(xué)生產(chǎn)的S型熱電偶。設(shè)備上使用了熱電偶，熱電偶對(duì)應(yīng)設(shè)備的溫區(qū)進(jìn)行溫度測(cè)量，實(shí)現(xiàn)工作過(guò)程的實(shí)時(shí)監(jiān)控，并保證了在加溫、保溫過(guò)程中爐室內(nèi)溫度的均勻性。

（g）晶閘管調(diào)壓器選用張家港四通或中亞調(diào)壓器，具有可靠性高，操作簡(jiǎn)單、維護(hù)方便等特點(diǎn)，本系統(tǒng)通過(guò)晶閘管調(diào)壓器輸出低電壓、大電流的加熱電源，提高設(shè)備運(yùn)行效率，保證了操作人員的人身安全。

（h）控制柜內(nèi)有冷卻系統(tǒng)，且具有防震功能，保證設(shè)備能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。